Mass Flow Series

微小型热式气体质量流量计采用 MEMS 矽微机械加工传感器,测量微小/小流量气体,可靠性高、重复性好、压损小、无可动部件、无需温压补偿,适用于轻工、化工、环保及半导体行业。

热式气体质量流量计基于热扩散原理直接测量气体质量流量,量程比宽、耐管道振动、所需直管段短,广泛应用于公用工程、石油天然气、电力、化工、冶金等行业气体计量。