产品概述

本产品采用矽微机械加工技术的 MEMS 流量传感器,具有测量微小、小流量的优势,是气体质量流量计与流量控制器,主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测与控制,可替代浮子流量计、孔板流量计等。

特点

μf 微流量感热式传感器采用大规模集成电路与材料加工技术,微流量测量灵敏度显著提升;集瞬时流量显示、累计流量显示与信号输出于一体,并可实现自动调节与阀门控制。