微小型热式气体质量流量计

微小型热式气体质量流量计采用 MEMS 矽微机械加工传感器,测量微小/小流量气体,可靠性高、重复性好、压损小、无可动部件、无需温压补偿,适用于轻工、化工、环保及半导体行业。